# | Class | status | |
---|---|---|---|
1 |
S:79055146
M:CEX O:Plasmetrex GmbH |
9, 41, 42 | Dead |
2 |
S:75922133
M:HERCULES O:Adolf-Slaby-lnstitut, Forschungsgesellschaft fur Plasmatechnologie und Mikrostrukturierung mbH, ASI ADVANCED SEMICONDUCTOR INSTRUMENTS GMBH, PLASMETREX GMBH |
9, 40, 42 | Dead |